SK海力士此前認為,3D閃存的堆疊層數極限是500層,不過現在更加樂觀,認為在不遠的將來就能做到600層。

當然,為瞭做到這一點,需要在技術方面進行諸多創新和突破,比如SK海力士提出瞭原子層沉積(ALD)技術,進一步強化閃存單元屬性,可以更高效地存儲、釋放電荷,並且在堆疊層數大大增加後依然保持電荷一致性。

為瞭解決薄膜應力(film stress)問題,SK海力士引入瞭新的氮氧化物材料

為瞭解決堆疊層數增加後存儲單元之間的幹擾、電荷丟失問題,SK海力士開發瞭獨立的電荷阱氮化物(CTN)結構,以增強可靠性。

另外針對DRAM內存發展,SK海力士在考慮引入EUV極紫外光刻,可將工藝制程推進到10nm以下。

arrow
arrow
    全站熱搜
    創作者介紹
    創作者 Ken641228 的頭像
    Ken641228

    Ken641228的部落格

    Ken641228 發表在 痞客邦 留言(0) 人氣()