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在ASML公司2020年簽訂的86臺EUV光刻機訂單中，臺積電最為霸氣，購買瞭44臺，占瞭一半多，其次是三星，購買19臺，Intel也購買瞭18臺。
當然，這三傢都是用於邏輯芯片生產的，如果考慮到內存行業，那麼SK海力士也加入瞭EUV光刻機購買大軍，前不久與ASML簽訂協議，斥資43.4億美元購買EUV光刻機。
由於EUV光刻機極為昂貴，所以它的銷量在ASML中隻占12%，但營收缺占瞭45%，2023年的營收甚至會比2020年提升一倍多。
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