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據稱它比氯氣等化學物質更有效，但跟它們不同的是，它不會影響到水的味道或氣味，並且在處理後水中不會殘留臭氧。
也就是說，必須根據需要在現場生成。換言之，臭氧不能像化學物質那樣能夠預先批量生產並儲存起來以備往後使用。這就是微型臭氧發生器的用途所在。它是通過一個歐盟項目開發而出，該項目結合瞭來自三傢德國企業合作夥伴的努力：弗勞恩霍夫矽技術研究所，弗勞恩霍夫獨立公司Condias和Go Systemelektronik。
目前，該設備的雛形隻有幾立方厘米大小，可以放置在第三方供水設備的水流管道中。
生成器內的傳感器芯片會持續不斷地測量水的導電性、質量流量和溫度。電導率決定瞭在電解過程中需要多少電流，流量決定瞭臭氧產生的速度，溫度決定瞭需要多少臭氧--臭氧在更高的溫度下會分解得更快。臭氧是由一個內置的電解池產生，該電解池包含一對金剛石塗層的矽電極。
弗勞恩霍夫研究所研究人員Norman Laske介紹稱：“兩個電極被離子導電隔膜隔開。當電壓被施加在電極上，水在電解過程的作用下被分解。由於金剛石層覆蓋在電極上，所以這個過程首先會形成羥基自由基，然後發生反應，主要形成臭氧(O3)和氧氣(O2)。”
臭氧通過蝕刻在電極上的小縫繼續流動，隨後進入並處理流動的水。據估計，最終的商業化產品--以Mikrozon的品牌名上市--每分鐘可以處理6升的水。
值得指出的是，目前已經有瞭便攜式臭氧生成裝置，其允許用戶手工消毒少量的水。
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