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產業鏈人士透露，臺積電5nm制程工藝的月產能，在去年四季度達到瞭9萬片晶圓，在今年上半年仍將繼續提升，將提升到每月10.5萬片晶圓。
這一產業鏈人士還透露，上半年提高之後，臺積電在下半年仍將繼續提高5nm工藝的月產能，計劃在下半年提升至每月12萬片晶圓。
從此前相關媒體的報道來看，臺積電目前主要是在晶圓十八廠，利用5nm工藝為相關的客戶代工芯片。晶圓十八廠是臺積電專為5nm工藝量產而投資建設的工廠，在2018年動工，一期在2020年初大規模投產，二期也在2020年投產，三期計劃在今年一季度投產，三期工廠投產之後，這一工廠5nm工藝的年產能，預計超過100萬片12英寸晶圓。
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