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根據最新數據顯示，ASML在12月中完成瞭第100臺EUV光刻機的出貨。更加利好的消息是，業內預估ASML今年（2021年）的EUV光刻機產能將達到45~50臺的規模。
畢竟，2019年ASML僅出貨瞭26臺，去年三季度後全年累計出貨23臺（全年預估35臺），可謂少得可憐。
另外，ASML定於明年中旬交付最新一代EUV光刻機TWINSCAN NXE:3600D，生產效率提升18%、機器匹配套準精度改進為1.1nm，單臺價格或高於老款的1.2億歐元（約合9.5億元人民幣）。
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