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據介紹，2020年10月，清華大學學位委員會投票通過設立集成電路科學與工程一級學科博士碩士學位授權點。

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2021年4月，為服務國傢重大戰略需求，聚焦國傢關鍵領域，加快清華大學集成電路學科的發展，經清華大學第十四屆黨委第一百五十八次常委會會議討論通過，決定成立清華大學集成電路學院。

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