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晶圓代工龍頭臺積電對外回應稱，由於北部的部分廠區所在地震度達到4級，因此有部分員工依規定疏散，不過目前安全系統已經正常，部分人員已經回到瞭崗位正常運作，對生產線的影響還在盤查中，目前的情況是暫時沒有發現顯著影響。
聯電則表示其各廠區都未達到需進行人員疏散的標準，目前廠區正常生產運作，沒有受到影響。
世界先進的二廠及三廠都測得4級震度，依照標準作業流程，將所有制造部人員進行疏散，確認無任何傷亡，對生產營運沒有影響。
至於面板廠方面，群創的工廠分佈在苗栗的竹南、南科，該位置相對距離震中較遠。
群創表示，因為面板廠的機臺都有地震防護，目前營運正常不受地震影響，友達也已緊急盤點各廠區，目前回報廠務系統正常運作並無影響。
上遊設備廠商指出，由於半導體與面板廠內的設備精度都非常高，因此對於廠房與設備的耐震要求也比一般的公司要高很多，不過因為半導體與面板的前段制程會使用較多的化學藥劑與氣體，泰半都屬於有毒物質，一旦發生較大的地震時，並不是擔心機臺受損移位，而是怕設備管線發生滲漏，因此若是震度達到一定程度以上，即使地震未導致發生斷電使生產線中斷等狀況，但依照規定還是會將無塵室內的員工進行計劃性暫時疏散。
業者指出，10日晚間地震，新竹市3級、新竹縣4級，竹科內半導體廠測的都是3級，依半導體廠流程，黃光制程要重新pilot run，曝光機回線會比較慢，爐管要重新重啟，測試運作（test run）大概要6小時，其餘機臺相對正常。
至於進一步細節需要等官方消息才會比較清楚。至於半導體相關供應鏈，封測業者回應，基本上封測廠要到震度五級以上才會有相關的反應，目前看來沒有斷電、較無生產上的問題。
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