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EUV即極紫外光刻，它是借助13.5nm波長極紫外光在矽晶圓上蝕刻數十億規模的微縮結構。
按照Yen的說法，當前ASML的EUV光刻機單臺售價1.2億美元(約合7.8億元)左右，由超過10萬個精密零部件組成。
Yen笑著表示，買我們的EUV光刻機可不是今天下單，兩天內送達，通常需要兩年的時間才能配送到貨，發運是需要多達40個集裝箱。
據悉，世界上第一臺EUV光刻機2010年在三星裝配，第二臺2011年進駐臺積電。談及摩爾定律，ASML認為至少還能延續10年。
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