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不過此後，由於上海新陽與光刻機供應商、北方集成電路技術創新中心(畢竟)有限公司在溝通協調設備運輸與安裝等細節方面遇到波折，光刻機設備沒能在規定時間內運達。
隨後，雙方就具體合作細節簽署瞭《合作框架協議》，預計該光刻機將於2021年3月底前進入北方集成電路現場。
現經各方積極協商、運作，這臺光刻機設備於今日已進入北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司的場地，後續將進行安裝調試等相關工作。
上海新陽表示，采購的ASML幹法光刻機設備順利交付，對加快193nm ArF幹法光刻膠產品開發進度有積極影響，有利於進一步提升公司光刻膠產品的核心競爭力，加快落實公司發展戰略，提高公司抗風險能力和可持續發展能力。
不過，這臺光刻機尚須經過裝機、調試等相關環節，如果出現工作疏漏或失誤，則存在造成光刻機投入使用過程較長，甚至無法投入使用的風險。
另外，光刻膠研發項目技術壁壘高、周期長，投入產業化並最終實現銷售利潤，仍需一定時間，而且價格昂貴，其折舊及後續維護費用預計對公司的經營業績存在一定影響。
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