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光刻機方面，2020年累計出貨交付258臺光刻機系統，其中EUV光刻機31臺、ArFi光刻機68臺，ArFdry光刻機22臺，KrF光刻機103臺，I-Line光刻機34臺。這些光刻機，72%被用於邏輯芯片制造（比如處理器、GPU等），剩下的28%則被用於存儲芯片的制造（比如內存、閃存等）。
按照送達地區劃分的話，中國臺灣地區排名第一，占比36%；韓國排名第二，占比31%；中國大陸排名第三，占比18%。估算可知，ASML面向整個中國市場交付的光刻機大約有140臺左右。
稍稍遺憾的是，由於眾所周知的原因，中芯國際訂購的EUV光刻機至今未交付。
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