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上圖 國內首臺新一代大尺寸集成電路矽單晶生長設備。
2018年起，西安理工大學劉丁教授團隊與西安奕斯偉矽片技術有限公司緊密協作，開展技術攻關，成功研制出直徑300毫米、長度2100毫米的高品質矽單晶材料。實現瞭采用自主研發國產裝備拉制成功大尺寸、高品質集成電路級矽單晶材料的突破。
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- Dec 25 Fri 2020 10:39
新一代大尺寸集成電路矽單晶生長設備試產成功
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